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热压发制备SiC的技术路线与详细解读(六)- 热等静压SiC

日期:2024-01-05 浏览:375

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10 热等静压SiC

热等静压(HIPing)涉及在高等静气压下加热一个组件,通常在100 MPa的数量级。为了使HIPing有效,组件的表面必须被密封。为了使HIPing 有效,部件表面必须密封。要做到这一点,可以通过预烧结达到封闭孔隙密度(通常密度为 0.95% 时,所有孔隙都是封闭的),或者封装在金属或玻璃罐中。

在可能的情况下,预烧结至闭孔密度是一种更为实用的策略。此外,热压工艺过程缓慢,不易实现自动化,而 HIP 工艺则不同,它可以作为一种大规模的批量生产工艺来进行,因为 HIP 炉中可 以 一 次 性装满大量的陶瓷部件。

热等静压(HIPing)是一种非常有效的后烧结工艺,是彻底消除孔隙和达到100% 密度的理想选择,而且晶粒长大的风险最低。就碳化硅而言,热等静压是将 DSSC 转变为完全致密的陶瓷而不会产生晶粒生长的理想方法。因此,对于碳化硅陶瓷而言,HIPing 通常是在 DSSC 组件上进行的后烧结工艺,通过预烧结达到闭孔密度。


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