干涉显微镜基于照明光通过具有不同折射率的透明样品或在具有不同高度的表面上反射时发生的相位偏移。这种光···
干涉显微镜基于照明光通过具有不同折射率的透明样品或在具有不同高度的表面上反射时发生的相位偏移。这种光与参考光的干涉形成干涉条纹，或者在差分干涉Nomarski显微镜中（如图所示），两束略微偏移的光束的干涉转换为高空间分辨率的不同颜色，从而可以以20纳米的精度测量台阶高度。
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