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碳化硅化学分析方法标准简介

检测资质/报告种类：CMA、CNAS资质。

检测周期：3~7个工作日，可以加急。

检测机构：国家磨料磨具质量检验检测中心。

一、概述

普通磨料碳化硅（SiC）又名金刚砂，是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅由化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好等特点，主要有四大应用领域，即：功能陶瓷、高级耐火材料磨料及冶金原料，高纯度碳化硅可制造半导体和碳化硅纤维。碳化硅是卫星通信、高压输变电、轨道交通、电动汽车、通信基站等重要领域的核心材料，尤其是在航天、国防等领域有着不可替代的作用。目前我国在5G通信、电动汽车等新兴产业的技术水平、产业化规模等方面都处于国际优势地位，将促进我国上游半导体行业的持续发展，进一步提高国内半导体企业在国际市场的影响力，尤其对碳化硅器件将产生巨大的需求。

化学成分是影响碳化硅使用性能的关键因素，对产品的生产和应用具有重要的指导意义。

碳化硅特种制品硅碳棒JB/T 3890-2017中碳化硅发热部化学成分按照GB/T 3045标准进行检测。

表1 JB/T 3890-2017标准中化学成分技术要求

碳化硅特种制品 氧化硅结合碳化硅板JB/T 10376-2013中化学成分SiC、SiO2、Fe2O3按照JB/T 5204标准进行检测。

表2 JB/T 10376-2013标准中化学成分技术要求

碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 辊棒GB/T 21944.3-2022中SiC、Si按照GB/T 16555标准进行检测。

表3 GB/T 21944.3-2022标准中化学成分技术要求

不同的检测标准所对应的各成分检测范围均有所不同。如表4所示。

表4 各标准对应化学成分的检测范围

二．不同的化学分析方法

1.普通磨料碳化硅化学成分分析主要用《GB/T 3045-2017 普通磨料 碳化硅化学分析方法》标准检测，该标准主要分析碳化硅样品中二氧化硅、游离硅、游离碳、酸处理失量、总碳、碳化硅、三氧化二铁、三氧化二铝、氧化钙、氧化镁含量。

2.碳化硅脱氧剂分析主要依据《JB/T 5204-2018 碳化硅脱氧剂化学分析方法》标准检测，该标准规定了氯化钠、碳、碳化硅、二氧化硅、硅、三氧化二铁、氧化钙、氧化镁、三氧化二铝、硫及磷的测定方法。

3.含碳化硅耐火材料及原料应用标准主要为《GB/T 16555-2017含碳、碳化硅、氮化硅耐火材料化学分析方法》，主要项目为挥发分、灼烧减量、总碳量、游离碳量、碳化硅量、总氮量、总氧量、氮化硅量、游离硅量、游离铝量、二氧化硅量、氧化铝量、氧化铁量（所有价态铁以Fe2O3计）、二氧化钛量、氧化钙量、氧化镁量、氧化钾量、氧化钠量、五氧化二磷量、氧化锆（铪）量、一氧化锰量（所有价态锰以MnO计）、三氧化二铬量等项目。

4.碳化硅各项目检测技术对比

表5碳化硅标准方法技术对照表

目前中心实验室满足以上标准检测项目，同时相关标准方法均取得CANS授权认证，近两年为磨料磨具行业及半导体行业出具相关报告，取得广大用户认可，优质的服务与多家厂商建立了长期的合作关系。诚挚欢迎各界朋友前来参观、考察、洽谈业务。